Промышленность: развитие и перспективы

В Новосибирске создан российский аналог американского лазерного комплекса для производства микросхем

Компания «Оптические технологии» из Новосибирска разработала уникальный отечественный лазерный комплекс, предназначенный для изготовления фотошаблонов — ключевого элемента при производстве микросхем. Новый комплекс призван заменить импортные лазеры с длиной волны 257 нанометров производства американской компании Coherent, не имея аналогов на территории России.

Процесс производства микросхем начинается с создания фотошаблона — тончайшей пленки с микроскопическим рисунком будущей схемы, наносимым на кремниевую подложку. Более 75% современных высокоточных фотошаблонов изготавливаются методом лазерной литографии.

Сердцем нового комплекса является лазер с базовой мощностью 10–30 милливатт и волоконным усилителем, увеличивающим мощность до 15 ватт. Частота лазерного излучения преобразуется с помощью специализированного кристалла. Отличительной чертой системы стало низкое энергопотребление — всего 1 ватт, что в два раза меньше, чем у обычного электрочайника.

Перед запуском в серийное производство предсерийный образец комплекса пройдет испытания на белорусском предприятии «Планар», где проведут совместные тесты для выявления возможных недостатков и улучшения качества оборудования.

www.tgoop.com/rustechnology_prom/1477

352 viewsJun 8 at 08:21

В Новосибирске создан российский аналог американского лазерного комплекса для производства микросхем

Компания «Оптические технологии» из Новосибирска разработала уникальный отечественный лазерный комплекс, предназначенный для изготовления фотошаблонов — ключевого элемента при производстве микросхем. Новый комплекс призван заменить импортные лазеры с длиной волны 257 нанометров производства американской компании Coherent, не имея аналогов на территории России.

Процесс производства микросхем начинается с создания фотошаблона — тончайшей пленки с микроскопическим рисунком будущей схемы, наносимым на кремниевую подложку. Более 75% современных высокоточных фотошаблонов изготавливаются методом лазерной литографии.

Сердцем нового комплекса является лазер с базовой мощностью 10–30 милливатт и волоконным усилителем, увеличивающим мощность до 15 ватт. Частота лазерного излучения преобразуется с помощью специализированного кристалла. Отличительной чертой системы стало низкое энергопотребление — всего 1 ватт, что в два раза меньше, чем у обычного электрочайника.

Перед запуском в серийное производство предсерийный образец комплекса пройдет испытания на белорусском предприятии «Планар», где проведут совместные тесты для выявления возможных недостатков и улучшения качества оборудования.

BY Промышленность: развитие и перспективы